半導體有機廢氣怎么處理？半導體廢氣治理有哪些好辦法？
- 格林斯達環保
- 擅長：半導體廢氣處理工藝技術，專注環保領域13年
半導體行業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分，在工藝過程中，這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。其廢氣的主體是VOCs，同時廢氣中還混合了HCl、氨、HF等危險污染物。半導體有機廢氣怎么處理？半導體廢氣治理有哪些好辦法？下面為您做簡單介紹：
半導體有機廢氣處理辦法
采用RTO設備處理
RTO蓄熱式氧化爐是在高溫下將可燃廢氣氧化成氧化物和水，凈化廢氣，并回收廢氣分解時所釋放出來的熱量，廢氣分解效率達到99%以上，熱回收效率達到95%以上。
（格林斯達環保RTO設備）
直接燃燒法處理
有機廢氣風管廢氣收集→沸石轉輪吸附濃縮→直燃爐（TO）→煙囪排氣達標排放。
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